| 扫描探针显微镜 |
| JP2007043654 2007-2-23 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够校正所述的光学轴的一位移的移位通过所述差引起的检测机构的一悬臂或一种溶液中或所述悬臂的所述翘曲所述气氛或所述溶液。溶液 : 在所述扫描探针显微镜用于测量在一个由一位移检测机构10构成的液体的一光源部11和一个光检测部分13和一悬臂支架30具有一个液位保持部分31包括一透光材料到所述光源部11所述的光，所述悬臂固定器30被构成为使得该入射光通过的部分的厚度在该方向垂直于所述入射表面31b所述的入射光的所述液位保持部31和厚度所反射的光通过部分在一个方向垂直于反射的光发射表面31c。版权 : (C)2008，inpit |
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