| 扫描探针显微镜 |
| JP2007044336 2007-2-23 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够快速的进行高精度的测量通过使没有精细电位的变化在所述样品表面的细微区域通过适当地保持该电位之间的差该样品的表面和一探针，当由于所述探针是测量该样品在一个检查过程。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一AFM传感器单元11用于获得所述表面数据的所述样品13通过提供所述的悬臂探针34与所述的引导端35，以允许所述相同的，以接近该样品13和用于保持所述样品的样品台12和进一步配备有一接地单元16，用于使所述样品的表面电位等于所述一阶段中所述探头34的电位所述开始之前的测量。所述所述样品的表面电位之间的差被测量的目标和使所述探针是通过消除所述接地单元16，以使所述两个它们的相同的电位。版权 : (C)2008，inpit |
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