| 扫描探针显微镜 |
| JP2007046118 2007-2-26 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够通过选择最佳高度准确地测量的测量根据一个测量环境条件。溶液 : 在该扫描探针显微镜配备与一个测量部分包括一个样品台3用于支撑样品8，一种用于安装所述样品台3在其上支撑2，一种用于感测探头之间产生一物理动作本身和所述样品表面，一个轻微的运动驱动机构12用于允许所述探针与一平面上的扫描大致在平行于所述样品表面，和一个轻微的运动驱动机构11用于驱动所述探针大约在所述垂直方向以所述样品表面; 一壳体，用于覆盖所述测量部分; 和一个温度调节机构18，温度控制通过所述温度调节机构18是改变根据所述测量条件。版权 : (C)2008，inpit |
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