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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

US12043684 2008-3-6 发明申请

2008-9-11

本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜，其能够促进静电吸盘的清洁，并且还能够减少由于静电吸盘的污染而导致的不可用时间。为了解决上述问题，提出了一种电子显微镜，其中样品经由辅助抽真空室装载，以便使用电子束进行测量和观察，电子显微镜包括不同于辅助抽真空室的静电吸盘更换室和用于抽真空更换室的真空泵。这种配置消除了将样品室恢复到用于静电吸盘的大气压力的需要，并且还使得能够有效地清洁静电吸盘。