| 多束扫描电子显微镜装置、多束电子源及用于多束操作之方法 |
| TW108137245 2019-10-16 发明授权 |
| 2023-4-21 |
| ?本发明揭示一种多束电子源。该多束电子源包含一电子源、一格栅透镜总成及一多透镜阵列总成。该多透镜阵列总成包括跨一基板安置之一组透镜。该格栅透镜总成经组态以引起来自该电子束源之一次电子束远心著陆于该多透镜阵列总成上。该多透镜阵列总成经组态以将来自该电子束源之该电子束分裂成复数个一次电子束。该格栅透镜总成包含一第一透镜元件及一第二透镜元件其中该第一透镜元件及该第二透镜元件由一选定距离之一间隙分离。该格栅透镜总成进一步包含一格栅元件其包含一组孔隙其中该格栅元件安置于该第一透镜元件与该第二透镜元件之间的该间隙内。 |
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