| 长工作距离物镜扫描光学显微镜 |
| US12044370 2008-3-7 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 一种扫描光学显微镜，包括 : 光源，用于产生探测光束； 准直光学器件，用于基本上准直所述探测光束； 探测结果分束器； 长工作距离、无限远校正物镜； 扫描装置，用于在样品上或样品内扫描聚焦的探针束的束斑； 中继光学； 和一个探测器。 准直光学器件设置在探测光束中。 探测结果分束器布置在探测光束和来自样品的合成光的光路中。 分束器将探测光束反射到物镜中并透射所产生的光。 长工作距离、无穷远校正物镜也布置在探测光束和合成光的光路中。 它将反射的探测光束聚焦到样品上，并收集和基本上准直得到的光。 中继光学器件被布置成将从分束器发射的合成光中继到检测器。 |
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