| 光轮廓显微镜设备和方法 |
| US10599227 2005-3-30 发明申请 |
| 2008-9-11 |
| 一种通过用椭圆准直光束激励样品来允许在光剖面显微镜中优化照明的设备和方法。 典型地由激光器提供的光束沿着与传播方向正交的长轴和短轴以不相等的光束腰半径(和瑞利范围)准直，并且近似于平面照明片。 所述照明平面片沿所述显微镜物镜的光轴与其最薄宽度尺寸对准，并且其中心位于所述物镜的物平面处。所述照明平面片沿所述显微镜物镜的光轴与其最薄宽度尺寸对准，并且所述照明平面片的中心位于所述物镜的物平面处。 由此，测试样品中的激发光被限制在物镜的物平面的窄厚度内，这使图像中的失焦光最小化。 平面照明片的长轴宽度通常大于或等于最小宽度的10倍，从而允许大面积的测试样品被照明和成像。 该激励装置光学地模拟对材料的薄横截面进行显微切割以用于分析的操作，并在光剖面显微镜中提供最佳分辨率和场。 |
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