| 扫描电子显微镜具有统一控制功能。 |
| KR1020070073642 2007-7-23 发明授权 |
| 2008-9-10 |
| 一种扫描电子显微镜具有一个统一的控制功能被提供给控制操作部件包括一个高电压发生器和一个电子束扫描单元通过使用数字信号。一种扫描电子显微镜包括一个电子枪，一种阳极分离从所述的电子枪，一个高电压发生器，用于施加一个高电压到所述电子枪和所述阳极，一种用于扫描电子束的电子束扫描单元到一个样品，和一个检测单元，用于检测二次反射的电子从所述样品和转换所述二次电子，以电气信号。所述扫描电子显微镜进一步包括一控制面板(52)具有多个用于操作所述高电压发生器的键输入部分和所述电子束扫描单元，分析终端(54)，用于接收所述的电气信号从所述检测单元和显示一个该样品的图像在监视器上，和一个数字信号处理器(58)用于控制所述高电压的操作发生器和所述电子束扫描单元的处理所述高电压的驱动信号发生器和所述电子束扫描单元作为数字信号。 |
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