| 材料供应的探针装置和扫描探针显微镜 |
| JP2007038812 2007-2-20 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 要解决的问题 : 以一样品表面上施加一种材料; 以引入它到一样品; 和以适当地测量该样品的表面状态。溶液 : 一个材料供给的探针装置1a具有一个配备有一中空玻璃毛细管21的结构具有一个锐化尖端部21a，一柱塞22和一个线性致动器23能够通过改变压力的被往复移动，在所述中空玻璃毛细管21，激励源12，一种测量部分14用于检测所述尖端部分的位移该中空玻璃毛细管21的21a，和一个移动部分13用于相对移动所述的尖端部21a基于所述中空玻璃毛细管21所述测量部分14的检测结果上。一个扫描探针显微镜1具有一配备与所述材料供给的探针装置的结构1a，一个样品捕获探针15，和一个移动部分16，用于相对移动所述样品捕获探针15。版权 : (C)2008，inpit |
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