杠杆励磁机构和扫描探针显微镜
 
JP2007038813  2007-2-20  发明申请

2008-9-4
 
  要解决的问题 : 以提供一杠杆励磁机构能够改善的振动特性,和一个扫描探针显微镜具有所述杠杆励磁机构。溶液 : 该杠杆励磁机构1a具有一个与一杆3c的一个悬臂结构3延伸在所述纵向方向朝向所述尖端侧从该基端侧; 一倾斜块10用于支撑所述基座端在一悬臂状态,同时处理的该尖端部该悬臂3作为一自由端; 和一个激励源11用于一规定的振动状态中的振动所述杆3c通过该斜块10。所述倾斜块10包括一个带缺口的凹槽部分13用于从两侧夹着所述激励源11在该振动状态到固定,和所述缺口槽部13具有一规定的干扰相对于所述在所述激励源11所述的振动方向的厚度,和所述激励源11被固定在所述干涉配合所述的振动方向中的状态通过该切口凹槽部分13。所述扫描探针显微镜1具有一与所述杠杆励磁机构的结构1a,一移动装置5用于相对移动的一个探头3a和一样品S,一个测量装置6用于测量该振动状态中的位移所述杆3a的C,和一个控制装置8用于收集观测数据。版权 : (C)2008,inpit
 
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