| 激光显微镜 |
| JP2007037830 2007-2-19 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 要解决的问题 : 以精确地修正所述激光束照射到样品的光学轴线从一物镜。溶液 : 所述激光显微镜1是配备有 : 一激光束源2可振荡的所述的激光束两个或多个波长; 一扫描部4允许所述激光束从所述激光束源2以扫描; 允许所述的物镜5聚光激光束以扫描由该扫描部4所述样品上的一个; 一种光学轴错位检测部9检测所述未对准所述的光学轴的所述激光束量从所述激光束发射源2; 一个光学元件6设置到被交换在根据与所述之间的所述激光束的波长所述物镜5和所述光学轴线错位检测部9; 一存储部12存储校正信息的所述激光束由于切换所述光学元件6; 和一个光学轴之间设置校正部10所述错位检测部9的光学轴和所述激光光束源2,基于所述激光束的所述的光学轴和校正在所述的光学轴偏离量检测通过所述错位检测部9的光学轴和所述校正信息存储在所述存储部12。版权 : (C)2008,inpit |