| 电子显微镜，其中使用的隔膜板，和光阑板的制造方法 |
| JP2007037313 2007-2-19 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 要解决的问题 : 以执行机器差的校正用于每一种电子显微镜的光学系统复杂化它。溶液 : 在本发明的电子显微镜配备有一聚光透镜111聚焦的电子束从电子枪发出110，一隔膜152，以去除不必要的区域，一物镜透镜115所述电子束照射到一样品141作为一种显微斑点，产生一个检测器130以检测一个信号从所述样品，一种信号放大转换器230，一个存储器部分261以存储所述信号，和一个显示部分262以显示所存储的信号; 一隔膜，其中多个所述光阑152的中板150被形成，和一个物镜光阑移动单元250，以移动所述隔膜板150被提供，和多个所述光阑151-153的任一个的可以被选择。版权 : (C)2008，inpit |
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