| 扫描电子显微镜使用永久磁透镜 |
| JP2007038708 2007-2-20 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 要解决的问题 : 以提供一种ultracompactSEM中使用一个永久磁透镜，其中所述数量的变化的阶段的聚光透镜可以实现相对容易地根据一加速电压由于到磁性饱和度。溶液 : 图中。1，作为用于所述的电子透镜在加速电压5伏，一个辅助聚光透镜3被拆下。在该加速电压5伏，有一聚光的透镜是没有磁性饱和，和两个级透镜可以被使用。然后，当该加速电压是由15伏，所述两个级具有磁性饱和的和聚光透镜不能获得足够的减速比，从而，所述辅助聚光透镜3被插入一聚光透镜(1)之间的4和一个阳极。从而，所述降低这种减小的部分比在所述聚光透镜(1)4和所述聚光透镜(2)。5是补充通过该辅助透镜，和所述聚光透镜作为一个整体具有不降低在所述还原比。版权 : (C)2008，inpit |
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