| 探针显微镜用集成致动器悬臂 |
| US11838547 2007-8-14 发明申请 |
| 2008-9-4 |
| 一种原子力显微镜传感器，包括基板、悬臂梁和静电致动器。 悬臂梁具有近端和相对的远端。 所述近端与所述衬底成固定关系，并且所述悬臂梁被配置成使得所述远端相对于所述衬底成可移动关系。 所述静电致动器包括第一电极和间隔开的第二电极，所述第一电极与邻近所述近端的所述悬臂梁耦合，所述间隔开的第二电极与所述衬底成固定关系。 当在第一电极和第二电极之间施加电势时，第一电极被拉到第二电极，从而使悬臂梁的远端移动。 |
微信公众号