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产业专利数据

EUV显微镜

US17893862 2022-8-23 发明申请

2023-4-20

一种利用EUV光源的EUV显微镜装置。光被发送到产生第一聚焦EUV光束的收集器。单色器模块接收第一聚焦EUV光束并产生传递到照明模块的第二聚焦EUV光束。照明模块的输出被反射离开掩模。来自掩模的反射光束被发送到波带板和检测器以产生图像。