| 用于用投影电子显微镜检查电子束装置和方法 |
| US11478615 2006-7-3 发明授权 |
| 2008-9-2 |
| 一种用于用投影电子显微镜进行电子束检查的装置和方法，其构造成允许校正由于充电状态的变化而引起的焦点偏移的变化，特别是在检查期间。 该装置包括 : 聚焦测量传感器单元； 聚焦测量计算单元，其根据由所述聚焦测量传感器单元转换的所述多个图像信号计算聚焦测量； 聚焦位置计算单元，其基于所计算的聚焦测量值，计算与由物镜的平面电子束的会聚平面共轭的共焦平面的高度，然后基于所计算的共焦平面的高度计算物镜的聚焦位置； 以及聚焦位置校正单元，其根据计算出的物镜的聚焦位置校正物镜的聚焦位置。 |
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