| 扫描电子显微镜 |
| JP2007029937 2007-2-9 发明申请 |
| 2008-8-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，它防止由于以检查从被扩展时当样品的垂直振动获得两个三维图像与电子束照射该样品的倾斜与所述样品相对于所述的垂直方向。溶液 : 该扫描电子显微镜是提供具有 : 一高度测量装置，其测量的高度位移量的一样品台; 一微处理器，其计算位移量的一种电子束照射位置与相对于样品从所述高度所述电子束的位移量和倾斜角度，从而以发射一个控制信号的所述电子束; 和一束位置校正装置，其校正水平所述电子束的照射位置由一束所述偏转装置，所述的基础上控制信号从所述微处理器。版权 : (C)2008，inpit |
微信公众号