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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

静电荷测量方法、焦点调整方法及扫描电子显微镜

US12038641 2008-2-27 发明申请

2008-8-28

本发明的目的是提供一种在通过扫描电子束测量样品的静电荷量或焦点调节量时，能够基于电子束扫描引起的静电荷存储来抑制静电荷量或散焦误差的方法和装置。为了达到上述目的，根据本发明的一个方面，提出了一种静电电荷测量方法、焦点调节方法或扫描电子显微镜，用于通过在移动电子束在样品上的扫描位置的同时改变对能量滤波器的施加电压来测量静电电荷量或控制对样品的施加电压。