电子显微镜
 
US12038076  2008-2-27  发明申请

2008-8-28
 
  本发明的目的是防止被物镜的磁场或电极板的电场吸引并粘附到物镜或电极板的表面上的异物在样品的观察过程中掉落并粘附在样品的表面上。为了达到上述目的, 一种电子显微镜,其中当待测样品从物镜下方移开时,关闭对扫描电子显微镜物镜的激励电流或使其激励弱于待测样品移开之前,或关闭对加速电子束的加速筒施加的电压或使其低于待测样品移开之前。
 
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