| 扫描探针显微镜 |
| JP2007027479 2007-2-7 发明申请 |
| 2008-8-21 |
| 要解决的问题 : 以执行快速和精确的原子跟踪与相对于一个扫描探针显微镜。溶液 : 所述显微镜包括一个第一压电元件20安装在一悬臂; 一个第二压电元件30设置在一个样品; 一生成单元40产生正弦波和余弦波和将它们应用于一压电元件1; 一个振荡器2施加一个其输出到所述压电元件1的Z-压电; XY驱动单元81输出一个驱动信号用于相对移动到一个样品的探针以一种压电元件2; 一个检测单元31，它检测所述悬臂的所述位移; 一Z-所述检测单元的驱动单元，用于比较所述输出与一设定值和驱动所述Z-压电所述的压电元件2在响应于所述比较结果; 和一锁定放大器33中所述检测单元31获得所述的输出和所述输出的所述生成单元40，作为其输入和调整这些两个输入信号的相位和然后将该结果以该XY驱动单元。版权 : (C)2008，inpit |
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