| 扫描电子显微镜 |
| WOCZ07000105 2007-11-15 修正或者更正专利 |
| 2008-8-21 |
| 扫描电镜由一个初级的电子源的，设备到所述初级电子加速到所需的动能; 磁物镜(3)与光学轴，扫描系统(6)，用于扫描所述初级电子在一个样品的光束和所述二次电子探测器(5)。磁物镜(3)由第一双磁极片的透镜(3a)位于更靠近所述测得的样品(4)和从这种转门样品(4)在第一工作距离(WD1)，和第二的双磁极片透镜(3b)放置所述相同的光学轴上在第二工作距离(wd2)从所述试样(4)。所述二次电子探测器(5)是位于该第一双磁极片之间的透镜(3a)和第二双磁极片透镜(3b)。 |
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