| 电子显微镜，和观察方法。 |
| WOJP07052850 2007-2-16 发明申请 |
| 2008-8-21 |
| 本发明提供一种电子显微镜能够测量一个测量对象的具有三个三维结构，作为一个整体，并在高精度，和一种使用该电子显微镜观察方法。所述的电子显微镜包括一个用于产生一个电子束的电子枪(12)，一个加速器(14)用于加速和通过引入所述电子束产生的所述的电子枪(12)，为一样品(42)，分光镜(24，30)，用于选择一个电子束的一特定能量，从所述的电子束，其具有通过所述试样(42)后，它们被由失去所述能量通过与所述标本所述的交互作用(42)，和一个检测器(32)用于检测所述的电子所选择的特定能量束的所述分光镜(24，30)，从而以获取所述传输信号或所述衍射所述电子束的信号在这样的一个所述试样的深度(42)作为对应于所丢失的能量量所述的电子束。 |
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