Y形碳纳米管作为AFM探针用于分析具有倾斜形貌的衬底,其制造方法,执行原子力显微镜检查的方法和使用所述Y形纳米管选择性地修饰衬底表面的方法
 
EP06819715  2006-11-23  发明申请

2008-8-20
 
  一个Y-形的碳纳米管的原子力显微镜探针尖端和方法包括一个轴部分; 一对成角度的臂从所述轴的同一端部延伸,其中所述轴部分和所述一对成角度的臂包括一个化学改性碳纳米管,和其中该化学改性碳纳米管是修改与任何的一种胺,羧基,氟,和金属部件。优选地,每个所述的一对成角度的臂包括一至少200纳米的长度和直径10和200纳米之间。此外,该化学改性碳纳米管是优选的是适于允许衬底材料之间的微分以被探测。另外,该化学改性碳纳米管是优选的是适于允许氟气体流通过该化学改性碳纳米管到一基板待特征。此外,该化学改性碳纳米管是优选的是适于化学反应与一基板表面待特征。
 
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