| 短波长辐射相衬显微镜及其成像方法 |
| US11468986 2006-8-31 发明授权 |
| 2008-8-19 |
| 相衬X射线显微镜具有相板，相板放置在物镜附近并刚性地附接到物镜上以形成复合光学器件。相衬X射线显微镜具有相板，相板被放置在物镜附近并刚性地附接到物镜上以形成复合光学器件。 这使得显微镜对准的初始和长期维护变得更容易。 在一个示例中，它们被制造在相同的高透射衬底上。 这种复合光学器件的使用允许基于光刻的对准，在仪器的使用寿命内不会改变。 此外，在一种配置中，相位板位于测试对象和物镜之间。 |
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