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扫瞄式电子显微镜
TW096103854 2007-2-2 发明申请
2008-8-16
一种扫瞄式电子显微镜, 适於观测一待测物, 扫瞄式电子显微镜包括一奈米碳管电子源、一电子透镜、一位置伺服单元以及一讯号接收器。奈米碳管电子源适於产生电子。电子透镜使奈米碳管电子源所放出之电子成为一电子束, 且待测物位於电子束之路径上。位置伺服单元连接至奈米碳管电子源与电子透镜其中至少一者。讯号接收器接收由待测物反射至讯号接收器之电子。
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