变刚度原子力显微镜探头
 
US11962037  2007-12-20  发明申请

2008-8-14
 
  公开了一种用于AFM中的原子力显微镜(AFM)探针,更具体地,公开了一种适于测试具有微米或纳米量级尺寸的微结构的形貌和机械性能的AFM探针。 为此,根据本发明的AFM探针包括在一个轴上具有固定端和可移动端的可弹性变形的框架; AFM尖端,所述AFM尖端由所述可移动端支撑以可抵靠测试样品在所述轴的方向上移动; 以及设置在所述框架的内表面上以将所述AFM尖端的运动控制在预定范围内的止动件。
 
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