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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

US12021810 2008-1-29 发明申请

2008-8-14

本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜，其包括减速电场形成装置，用于降低到达样品的电子束的能量，并且能够高效率地选择性地检测BSE。为此，包括减速电场形成装置的扫描电子显微镜具有用于检测电子的检测器。所述检测器包括用于在位于由减速电场形成装置加速的SES的轨迹之外并且比SES的轨迹更远离电子束的光轴的位置处接收电子的部分。