| 衍射光束分束器I。E。衍射光光束整形元件，用于显微镜的照明系统，具有光学系统E。G。凸透镜，提供给平均散斑和产生期望的强度分布 |
| DE102007005791 2007-2-6 发明申请 |
| 2008-8-7 |
| 以创建中的顺序diffraktiven分束器，用于形成diffratkiv光学辐射中的赋形元件(DOE)光学系统，其在用于显微镜的照明安装在半导体制造，以分配供给相干多个部分中的发光光束入口发光光束计划是，和其缺点，其出现与diffraktiv辐射的光学元件用于任务所使用的赋形，在特定与所述的一种diffraktiv的光学元件旋转到所述specklemittlung，从而降低其平均强度的可所述的远场中发生在所述的Z-轴，而不扰动的影响所述O。的顺序，建议该事实diffraktiv之前使radiationat所述输入侧光学元件(1)一楔形条(2)是预期的，其中所述diffraktiv光学元件(1)在所述路径射线的光学系统到平均(5)，在顺序与一个公共的旋转所述diffraktiv光学元件(1)和所述楔条(2)散斑和一远场(8)中所希望的分布强度是从设计的原因，以产生，由此本身的远场(8)围绕一个Z-轴(9)的圈数，由此0。顺序(4)可利用的命令(3)是单独训练。 |
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