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视频速率使能用于原子力显微镜探针

WOUS08001370 2008-1-31 发明申请

2008-8-7

用于制造方法一用于与一氮化硅的原子力显微镜悬臂探针和一个集成的单个晶体硅四面体的尖端具有高谐振频率和低弹簧常数打算用于高速AFM成像。