| 装置，用于观察样品与一个粒子光束和一光学显微镜 |
| EP08150931 2008-2-1 发明申请 |
| 2008-8-6 |
| 本发明涉及一种装置，用于观察样品(1)与一TEM柱和一光学高分辨率扫描显微镜(10)。当所述样品的位置与所述TEM观察该样品列的不同之处在于，从所述样品的位置观察时所述样品与所述的光学显微镜，其在后者情况下该样品中被倾斜朝向所述光-光显微镜。通过使用光学显微镜的扫描型，和优选地使用单色的光，所述透镜元件(11)的所述的光学显微镜面对所述样品之间的位置可以足够小到被位于所述极面(8a，8b)该(磁)粒子-光学物镜的透镜(7)。这种对比度与所述物镜系统中常规使用的是在光学显微镜，其示出了一个大的直径。此外该光学显微镜，或至少所述部分(11)靠近所述样品，可以是可伸缩的，从而TEM模式中，当成像到自由空间。 |
微信公众号