| 原子力显微镜微处理装置和微处理方法使用原子力显微镜 |
| JP2007010018 2007-1-19 发明申请 |
| 2008-7-31 |
| 要解决的问题 : 以达到高精度的一种原子力显微镜的微处理装置和处理，以使它可能以除去过程中产生的废一切割步骤通过一过程的探针。溶液 : 所述原子力显微镜微处理装置是全部或部分地，在一个部分包括一悬臂2和一个处理区，抽真空到被一真空气氛中以降低所述空气的阻力，以提高所述Q值的共振，从而使该悬臂2具有一高弹簧常数和更少的扭转或弯曲，其可以不被通常使用的，因为损伤引起的，即使仅在成像，可被使用用于观察一处理，和从而，可控性的一探针1处理期间被改进以达到高精度加工。进一步，切割过程期间产生的废与探头1被吸入所述的方法和通过除去该装置抽空系统或所述局部抽气系统3aA。版权 : (C)2008，&inpit |
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