| 驱动级，扫描探针显微镜，信息记录和再现装置，和加工装置 |
| JP2008022378 2008-2-1 发明申请 |
| 2008-7-31 |
| 要解决的问题 : 以提供一紧凑和光-加权驱动阶段可以减少振动的，即使当扫描在一个高的速度，一个扫描探针显微镜(SPM)具有所述驱动级和能够迅速获取的一个清晰的图像; 一种不易产生一个误差信息的记录和再现装置通过该振动引起的，即使当记录和再现快速的信息，和一个加工装置能够防止从得到精度较差甚至在加工时的一个高的速度。溶液 : 该驱动级包括一个支撑，至少两个或更多个的多个可动部件支撑的由所述支撑，和一个或更多的用于驱动所述多个可动的致动器部分，并被构成以驱动所述多个可动部件的沿彼此偏移的方向产生在所述多个各可动的惯性的力部件，当驱动该致动器。版权 : (C)2008，inpit |
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