| 利用扫描探针显微镜测量物体的表面浮雕的方法 |
| RU2006145408 2006-12-21 发明授权 |
| 2008-7-20 |
| 字段 : 探针显微镜。物质 : 所述对象表面的方法包括第一扫描的同时记录所述垂直扫描器位移信号和所述信号探针相互作用的与所述对象; 第二所述反向方向中的所述对象表面的扫描，同时记录所述垂直扫描器位移信号以及所述探针与所述对象交互的信号; 减法所述垂直扫描器位移的所述反向扫描期间记录的信号从所述垂直扫描器位移信号记录在所述前向扫描; 所述探针与所述对象交互的信号的减法所述反向扫描期间从所述的信号记录所述前向扫描期间记录的探针与所述对象交互; 确定一个用于所述的乘法因子的所述垂直扫描器位移的所述差信号，以得到，其后续的期间添加到所述探针的所述信号的差与所述对象交互，一个值作为尽可能接近恒定的; 乘法垂直扫描器的位移信号时记录的扫描方向的一个中，由所得到的因子，和其添加到所述探针与所述对象交互的信号记录扫描的同时，在所述相同的方向; 然后，使用所得到的信号作为一个调查下该物体的表面浮雕信号。效果 : 增强物体的表面浮雕的方法测量。5Cl，5显示 |
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