| 扫描电子显微镜 |
| JP2007297380 2007-11-16 发明申请 |
| 2008-7-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种技术能够执行精确的自动聚焦调整，当多个外来的物质或图案，其可以仅通过一特定检测器被成像的存在和被独立地包括的。溶液 : 一种扫描电子显微镜包括多个二次产生的信号的检测器用于检测从一样品通过照射电子束到所述样品，和一计算装置，用于组合所获得的信号从所述检测器; 至少两个所述检测器被设置的对称与相对于所述电子束; 和所述电子束的聚焦调整，基于该检测器的所述各个信号或在一这些信号的信号对应到一组合。版权 : (C)2008，inpit |
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