| 用于自动聚焦方法在扫描电子显微镜 |
| KR1020070029168 2007-3-26 发明授权 |
| 2008-7-10 |
| 目的 : 一种方法用于调整焦点的一种扫描电子显微镜被提供以准确地检测一个尺寸上形成一图案的一个主题通过所述对象获得一精确的图像。结构 : 一种扫描电子显微镜包括一阶段(10)用于主体(30)，一种检查部件，和一个自动聚焦部件，所述检查部件包括一个透镜组件(22)，一个检测器(24)，和一个ADC(模拟数字转换器)(26)。所述透镜组件包括一个电子枪，一个聚焦透镜，一个偏转线圈，一个物镜，和一个辅助线圈，所述检测器检测二次电子，其是由一表面产生的反应由于该主题的一个表面上，以加速电子。ADC将该信号从所述检测器为一数字信号。kipo2008 |
微信公众号