| 激光扫描共焦显微镜 |
| WOJP07074511 2007-12-20 发明申请 |
| 2008-7-10 |
| 从照射产生的荧光是一种检验样品的表面上的点(7)和所述荧光被收集通过一个物镜(6)。这里,由于所述物镜的倍率色差的透镜86,该荧光外出从所述物镜(6)沿一路径移从所述照射光并改变基本上为一非扫描光通过一电流表扫描器(5)。所述的荧光经二向色镜(4)和进入偏转装置(9)为2-维偏转装置不必要的波长的光被除去后,通过一个滤波器(8)。所述偏转装置(9)是在与所述的同步驱动的电磁扫描器(5)由一计算机(10)和校正所述移位和所述的光学轴的倾斜产生的所述所述物镜的透镜倍率色差(6)。所述移位后和所述的光学轴的倾斜被修正,该荧光形成一个图像的所述该检查所述样品的表面的照射点(7)上的销孔的销孔板(12)。通过使用一个聚光透镜(11)。因此,它是可能的,以提供一激光扫描共焦显微镜可校正的所述周边光量减少通过使用一个光学系统,即使所述的色倍率像差如果所述用于物镜透镜具有倍率色差像差。 |