| 一种用于空气敏感样品的扫描电镜进样保护装置及其使用方法 |
| CN202211125138.5 2022-9-15 发明申请 |
| 2023-1-3 |
| 本发明专利公开了一种用于空气敏感样品的扫描电镜进样保护装置及其使用方法，该装置由套筒、套筒旋盖、弹簧室、压缩弹簧、样品舱、叉形挡板、固定底座等部分组成。样品舱借助能够实现良好气密性的阻力胶塞密封于套筒内，其内设有装载待测样品的样品室；叉形挡板用于确保样品舱在预备阶段处于静止密封状态。测试前，先将套筒各部件在手套箱中完成组装，再将固定底座和套筒固定于电镜样品台上。在电镜抽真空前快速抽出叉形挡板，样品舱将在弹簧驱动下缓慢向套筒上的观察窗口运动，期间保持密闭状态，待电镜处于高真空时，样品舱运动到位并完全暴露于电镜内。该进样方法可确保样品始终不与空气接触，从而简便、有效地实现空气敏感样品的无损进样。 |
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