| 多级-图像采集聚焦装置，用于使用探测器中，具有透镜的物体的表面上提供独立的驱动显微镜在聚焦平面，和另一焦点平面位于尖端的高度和聚焦透镜聚焦系统中 |
| DE102007063298 2007-12-27 发明申请 |
| 2008-7-3 |
| 本发明，其是根据一种装置和一用于所述聚焦过程多图像版本在一探测器，与其与探针的针通过一测试对象的所述表面beabstandeten用于所述所述测试对象的相对横向定位以该点的所述的探针，显微镜所述表面上被聚焦在一个第一时间的一测试对象和在所述探针的针第二上时该电平，该任务，一聚焦的多图像版本在实际时间，I。e。所述测试对象的所述运动期间也以使可能的。这是通过该问题的事实所述物镜独立地是提供与所述物镜的一个垂直调整驱动所述的显微镜第一中所述测试对象的所述表面上的聚焦电平和一第二聚焦电平可聚焦显微镜中物镜的聚焦系统位于所述所述探针的针尖端的高度。 |
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