| 化合物半导体用于扫描探针显微镜悬臂，和其制造方法。 |
| JP2006340694 2006-12-19 发明申请 |
| 2008-7-3 |
| 要解决的问题 : 以制造具有高成品率廉价地和高可靠性一悬臂具有新的磁特性和光学特性或使用一种化合物半导体作为一种材料等，其是适合被用于一个扫描探针显微镜。溶液 : 一用于所述扫描探针显微镜的悬臂或一传感器是通过一种用于模制方法一体制造的一种光束，从一个基于砷-一芯片和一个底座，基于锑或氮-基于3-5组化合物半导体。否则，该悬臂用于所述扫描探针显微镜或所述传感器是通过复合探针(一种制造芯片; 一束和一个小底座)模制整体从所述基于砷，基于锑或氮-基于3-5组化合物半导体与一大的基座从制造的陶瓷，玻璃和cystal。版权 : (C)2008，inpit |
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