| 长度测量方法，通过扫描电子显微镜 |
| JP2008000264 2008-1-7 发明申请 |
| 2008-7-3 |
| 要解决的问题 : 以一种扫描电子显微镜提供一种长度测量的方法，能够防止的一长度测量从被产生的误差通过所述样品的结构，一种类型的膜或该等。溶液 : 在该长度测量扫描电子显微镜所述的方法，该扫描电子显微镜被自动聚焦与一测量点，使用一种输出从一个传感器用于检测从物镜到所述样品的距离，和一个该样品从样品发出的信号的变化的同时，监视所述物镜的透镜改变励磁电流; 以检测所述物镜的透镜对应的所述励磁电流Δiobj到一个焦点位移。所述励磁电流Δiobj所述物镜的透镜被转换成一个电子束的加速电压ΔV取入射在所述样品，和所获取的所述电子束加速电压入射在所述样品是改变通过该加速电压ΔV的长度是测量此后在所述测量点。版权 : (C)2008，inpit |
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