| 一种扫描电镜的控制系统及控制方法 |
| CN202211103812.X 2022-9-9 发明申请 |
| 2023-1-3 |
| 本发明涉及扫描电镜技术领域，具体为一种扫描电镜的控制系统及控制方法，包括电路系统和聚光通道，聚光通道，聚光通道的一侧连接有视频放大器，视频放大器的外侧连接有第一显像管和第二显像管，第二显像管的一侧连接有扫描发生器，聚光通道的中部安装有第一扫描线圈，第一显像管的中部安装有第三扫描线圈，第二显像管的中部安装有第二扫描线圈。该扫描电镜的控制系统及控制方法中，通过其中设置的驱动滚轮组方便对样品台进行调节，使得电子束的发射角度调节，方便其精确被探头检测，且通过上聚光镜和下聚光镜将电子束进行聚光，便于其观察，通过视频放大器、第二扫描线圈、第三扫描线圈进一步提高显像管的亮度，保证显示成像清晰。 |
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