| 扫描电子显微镜 |
| JP2006342618 2006-12-20 发明申请 |
| 2008-7-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够检测反射的electronss具有低能量，和分别和同时检测所反射的电子和二次电子。溶液 : 该扫描电子显微镜包括一个电子源1; 一物镜透镜4聚光一从所述的电子源1产生的主电子束2在一个观察样品5; 至少一个聚光透镜3设置在所述的电子源1之间和所述物镜透镜4; 一扫描偏转器，用于与所述主电子束照射该观察样品表面2，而二维地扫描在所述X-Y方向。在该扫描电子显微镜，所述聚光透镜3进行操作，使得所述主电子束具有一个分频; 一旦在所述物镜透镜4和自身之间; 第第一带电粒子检测器11被设置在所述交叉位置或在该观察样品5侧相对于所述交叉位置; 和一第二带电粒子检测器12被设置在所述的电子源侧相对于所述交叉位置。版权 : (C)2008，inpit |
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