| 用于原子力显微镜的照明系统和控制过程及其 |
| KR1020060136370 2006-12-28 发明申请 |
| 2008-7-3 |
| 目的 : 一种用于一种原子力显微镜的照明系统和一个用于控制所述相同的方法被提供以简化一种通过安装一整体结构紧凑高密度的光发射装置在一相邻的位置到一个悬臂在顺序，从而容易地照明光源。结构 : 一种用于一种原子力显微镜的照明系统包括一个图像信息获取单元(10)，一个物镜(20)，一棱镜(30)，一控制单元(400)，一信号处理单元(300)，一驱动单元(200)，和一个悬臂(50)。所述的照明系统容易地对准一个激光束通过识别一个在所述原子力显微镜所述悬臂的位置。所述的照明系统还包括一个照明单元(100)位于一反射镜(40)和所述悬臂之间，从而需要一个光源照亮用于该图像信息采集单元，以识别样品的表面状态，kipo2008 |
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