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扫描探针显微镜及扫描方法

US11961847 2007-12-20 发明申请

2008-7-3

为了实现适应表面的形状，通过根据表面形状的斜率设置采样间隔并根据该间隔控制触控笔，缩短了测量时间周期并提高了测量精度，本发明提供一种扫描探针显微镜，其中，在扫描触控笔时，将紧接在其之前的观测数据存储为历史记录，基于观测数据的形状每次设置在X或Y方向上的采样间隔，并且将触控笔扫描到连续的采样位置。