用于三维干涉显微镜的系统和方法
 
US11961601  2007-12-20  发明申请

2008-7-3
 
  在一个实施例中,一种设备包括具有多个检测器的光学系统和处理器。 光学系统被配置为在给定时间在每个检测器处产生光源在第一维度和基本上垂直于第一维度的第二维度上的图像。 图像中的每个图像基于光源在第一方向上的发射和光源在不同于第一方向的第二方向上的发射的干涉。 处理器被配置为基于图像计算三维中的位置。 所述第三维度基本上正交于所述第一维度和所述第二维度。
 
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