| 照射头，和电子显微镜配备有这种 |
| JP2006330092 2006-12-7 发明申请 |
| 2008-6-26 |
| 要解决的问题 : 以解决的问题，虽然也有一种方法制造的一个之间的间隙物镜透镜和一个样品电子显微镜的显微为了提高分辨率，它是必要的，以建立一种静态压力的机构的浮选作为阱作为所述物镜之间的差分排气机构和所述样品在照射头在一个使用本地cacuum技术的情况下，但是，该机构的结合的静态压力浮选和差分排气使它难以窄该所述物镜和所述样品之间的间隙。溶液 : 该物镜透镜5和所述的静态压力机构18照射磁头50被集成并固定。所述差分排气机构19被设置在一中空部内的所述物镜，在自由倾斜移动; 使所述机构的差分的排气可以跟随所述样品的不均匀性和模糊。进一步，在样品侧是采用一个复制机构，以使所述样品跟随所述物镜透镜。所述物镜之间的间隙和该电子显微镜的样品使用一局部真空技术是由显微以提高分辨率。版权 : (C)2008，inpit |
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