电子束全息图,产生传输电子显微镜的图像的方法,和传输电子显微镜
 
JP2006331373  2006-12-8  发明申请

2008-6-26
 
  要解决的问题 : 提供一种电子束全息图,一种方法制造的一个传输电子显微镜图像和一个电子透射显微镜,能够防止所述的位置偏差的所述传输电子显微镜的图像从所述电子束全息图。溶液 : 该传输电子显微镜可以形成一个电子光束的全息图H由一控制装置17通过使电子束中的双棱镜15到一种状态,其引起的干扰是一个对象之间的波E1和一个参考波通过接地的一个对象e2波侧电极15a和一个参考波侧电极15b和施加正电位V1到灯丝15c。另外,它被切换到一种状态,其中所述参考波中E2和所述对象波e1通过接地所述对象波侧彼此重叠电极15a,施加正电位V1到所述灯丝15c; 和施加正电位V2高于所述电位V1施加到所述灯丝15C到所述参考波侧电极15b,和从而,一个传输电子显微镜图像T可以形成不具有一个位置移从所述电子束全息图H。版权 : (C)2008,inpit
 
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