| 扫描电子显微镜 |
| JP2007297370 2007-11-16 发明申请 |
| 2008-6-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其可以稳定地使一个自动聚焦调整，即使一种检验部件独立地含有一个多个图案和外来的材料，其被只与一个特定的敏感检测器。溶液 : 该扫描电子显微镜是提供具有多个检测器的电子束照射到一个检验部件和检测二次发射的信号从所述检测件和一计算装置，其化合物所获得的信号从所述检测器。至少两个所述检测器被设置在一个轴向对称的，以一种电子光束和被提供与一基于一个电子束聚焦调整焦点调整装置，其上的至少一个检测器的一个信号选择从所述检测器或在所述复合信号。版权 : (C)2008，inpit |
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