| 使用偏光板和光学显微镜系统，用于检测纳米线的高速傅里叶变换 |
| JP2007285276 2007-11-1 发明申请 |
| 2008-6-26 |
| 要解决的问题 : 以提供一种具有小直径纳米线的一个图像或一种碳纳米管，通过使用一光学显微镜，因为它是一种现有的半导体元件的制造过程中使用。溶液 : 一光学显微镜系统1用于检测一种纳米线包括一光源部10用于产生一个光源和提供一种用于产生与所述的纳米线元件样品光源，一旋转偏振板20上提供所述光源的所述路径从所述光源发射的用于偏振的光源，一光学显微镜30用于检测所述纳米线的图像通过使用所述光源引入到所述样品用于纳米线元件，一个CCD照相机31设置在所述的光学显微镜的一个区域用于以所述纳米线和存储的图像检测通过该光学显微镜，和一个数据处理部50用于执行所述高速傅里叶变换处理在图像纳米线的存储在所述CCD照相机。一个反射的光的强度通过所述入射光的偏振方向改变成所得到的纳米线从所述纳米线的光学各向异性的一种，B，和C。版权 : (C)2008，inpit |
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