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改善扫描电子显微镜检查样品中的电荷陷阱

US11924673 2007-10-26 发明申请

2008-6-26

一种使用扫描电子显微镜检查样品的样品检查装置，用电子束照射样品。所述样品检查装置包括电荷收集单元，所述电荷收集单元收集由所述电子束照射所述样品表面而从所述样品表面产生的电荷。本发明提供一种试样检查装置，能够降低试样检查所需的成本，并且能够提供高质量的图像。